超純水(UPW)，指水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度，且電阻率達(dá)到相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的水。通常電子行業(yè)應(yīng)用較多的為電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值（25℃）的水。在集成電路工業(yè)中超純水常用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。超純水處理系統(tǒng)通常包括純水制備、純水的輸送和分配、純水的回收和處理。具體分為預(yù)處理系統(tǒng)（Pretreatment）、一次純水制備系統(tǒng)（Make up）、精處理系統(tǒng)（Polish）、分配系統(tǒng)（LOOP）—一次配&二次配、回收系統(tǒng)（Reclaim）和加藥系統(tǒng)（Dosing）幾部分組成；涉及到的水處理工藝設(shè)備包括換熱器、MMF、ACF、反滲透RO、UV殺菌器、TOC 分解機(jī)臺(tái)、EDI、2B3T、拋光混床、MB、MDG、超濾UF等。